晶瑞电材:ArF(193)高端光刻胶研发工作已正式启动

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12 月 16 日消息，集微网消息，近日，晶瑞电材在接受机构调研时表示，公司高端 KrF（248）光刻胶已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段。

目前 ArF（193）高端光刻胶研发工作已正式启动，已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置，其中 ASML1900Gi 型光刻机设备正在积极调试中。同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究。

据悉，晶瑞电材近期已购得 KrF 光刻机一台，可用于 KrF 光刻胶的曝光测试，同时公司 KrF 光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，公司已经购得用于负胶、g 线、i 线、ArF 等 4 台光刻机，再加之此次购得的 KrF 光刻机，公司已经到位 5 台光刻机。

晶瑞电材指出，公司 3 万吨电子级硫酸产线已于今年上半年顺利通车，经试生产调试，产品金属杂质含量低于 10ppt，达到 G5 级水平，品质已达全球同行业第一梯队水平，产品技术指标可以履盖目前全部先进集成电路技术节点的要求。目前，公司正在积极开展客户论证测试，市场反应良好。现有 3 万吨硫酸项目的顺利建设为二期 6 万吨硫酸项目的顺利实施提供了基础和保障。二期 6 万吨电子级硫酸项目已启动，项目的建设期为 12 个月，当前已取得环评审批。

新能源方面，晶瑞电材认为，公司是一家微电子材料的平台型高新技术企业，围绕泛半导体材料和新能源材料两个方向，努力打造为集研发、生产、检测、销售、技术支持于一体的国际知名微电子化学品制造企业，公司锂电池材料主要产品包括 NMP、SBR、CMCLi、PAA、电解液等。当前公司锂电池材料产品产销两旺，根据公司战略发展规划，为进一步推进公司产能布局，满足市场迫切需求，巩固行业领先地位，公司全资子公司晶瑞新能源拟使用自筹资金投资建设年产 5 万吨 NMP 项目。

目前，晶瑞（湖北）微电子材料项目一期目前正在设备安装调试阶段。

受益于我国半导体材料行业国产替代进程提速，下游芯片厂商需求增长，当前公司主导产品半导体级光刻胶及配套材料、超净高纯试剂、锂电池材料等产销两旺，未来随着公司 KrF 光刻胶测试完成并逐步量产、ArF 光刻胶研发成功并最终量产，以及公司南通、陕西、四川等基地新增的高纯硫酸、NMP、光刻胶等产品产能的逐步释放，有望成为公司新的利润增长点。

未来，公司将持续发挥主营业务的优势，围绕泛半导体和新能源材料方向，继续通过内生增长和外延并购，将公司打造成产品种类全、技术水平高，具有国际竞争力的微电子化学品生产企业。关于并购方向，公司依然围绕主营业务开展。