中微公司首台 8 英寸 CCP 刻蚀机 Primo AD

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IT大王 6 月 15 日信息 今日,中微半导体设备(上海市)股权有限责任公司(通称“中微公司”)第一台 8 英寸甚高频去藕合反映正离子(CCP)刻蚀设备 Primo AD-RIE 200 顺利付运顾客生产流水线。

中微公司首台 8 英寸 CCP 刻蚀机 Primo AD

IT大王获知,Primo AD-RIE 200 是中微公司自主研发的新一代 8 英寸甚高频去藕合反映正离子(CCP)刻蚀设备。根据已被业内普遍认同的 12 英寸 CCP 刻蚀设备的完善加工工艺与特点,Primo AD-RIE 200 在技术革新和生产率层面都是有了进一步提高,可以达到不一样顾客 8 英寸圆晶的生产加工要求。

为提升生产率,Primo AD-RIE 200 刻蚀设备可灵便配备高达三个双反映台反映腔(即六个反映台)。除此之外,Primo AD-RIE 200 给予了可升級至 12 英寸刻蚀设备系统软件的灵便解决方法,以达到顾客生产流水线将来很有可能提产的要求。

拓展阅读文章:

《国之重器之国内刻蚀机:国产芯片燎原火》

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