IT大王1月21日消息 据新浪微博 @科创版人民日报 消息,ASML 昨天交货了第一台 YieldStar 385 监测系统。这款商品具有更迅速的操作台及其迅速的光波长转换作用,与先前型号规格对比具有全新的精确测量技术性,提升 了精确测量速率和精确度,可考虑 3nm 工艺规定。
▲ 现阶段的 YieldStar 380G 系统软件
YieldStar 385 并并不是光刻技术,只是用以生产制造好圆晶检验的设备,可用以各种各样加工工艺下的精确测量,精准定位有毁坏的一部分。现阶段的 YieldStar 380G 系统软件,选用 425nm 至 885nm 光波长的灯源开展检验,管理中心精密度达到 1nm,而且适用聚焦点于不一样的深层,查验集成ic不一样层的合格率。
ASML 沒有表露这款商品的市场销售目标,但 IT 世家先前曾报导,tsmc表明将于2020年逐渐 3nm 集成ic的产品研发生产制造,预估于 2022 年完成批量生产。
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